行星减速机通过太阳轮带动行星轮绕其公转和自转，与内齿圈相互作用，由行星架输出动力。行星齿轮组精度直接关系到传动的精度与平稳性。高精度齿轮能保证传动顺畅，低精度齿轮则会因啮合不良，产生抖动。
抖动因素还包括安装不当使设备受力不均、内部零件松动等，这些都会影响行星减速机的正常运行。